臭氧氧化設備包括臭氧發(fā)生器、混合反應器和尾氣處理系統(tǒng)等三部分。
(a)臭氧發(fā)生器
     制備臭氧的方法較多，有化學法、電解法、紫外光法、無聲放電法等。工業(yè)上一般采用無聲放電法制取。我國已有多種臭氧發(fā)生器的定型產(chǎn)品出售，可供使用單位選擇。
(b)混合反應器
     臭氧系統(tǒng)中最重要的設備是混合反應器，其作用是促進氣水擴散混合，使氣水充分接觸，加快反應。廢水處理中常用的混合反應器有兩類接觸混合方式，一類是微孔擴散板式，另一類接觸混合方式(常采用射流器)。
     微孔擴散板式混合器的結構如圖3-31所示。廢水從反應器上部注入，由上而下流動，臭氧化氣從池底擴散板噴出，以微小氣泡上升、與廢水逆流接觸。這種混合器的特點是：設備簡單，氣量容易調(diào)節(jié)，接觸時間較長，反應充分。適用于反應速度慢的污染物，如烷基苯磺酸鈉(ABS)、COD、焦油、污泥、氨氮等。
     射流接觸池的結構如圖3-32所示。高壓廢水通過噴嘴處時，因速度很高而產(chǎn)生負壓，把臭氧化氣吸入水中。這種混合反應器的特點是混合充分，但接觸時間較短。這種混合器適用于反應速度快的污染物， 如鐵(Ⅱ)、錳（Ⅱ）氰、酚、親水性染料、細菌等。
             
(C) 尾氣處理系統(tǒng)
臭氧是有毒氣體，通常從接觸反應器排出的尾氣中的臭氧體積分數(shù)為500×10⁶~3000 x 10⁶。尾氣直接排放將對周圍環(huán)境造成污染，需要對尾氣進行適當處理。尾氣處理方法有：活性炭法、藥劑法和燃燒法。